Smart Sampling

Smart Sampling™ 能够在半导体制造环境中，与在线检测工具联动，自动完成晶圆检测数据在线缺陷的取样，是一个非常高效的自动化方法。通过Smart Sampling，能够利用公司的生产制造数据来判断哪种类型的工具最适用于检测并分类特定的缺陷。它改善了在线检测工具的使用，并减少了在决策过程中的人为错误。 

• 允许用户专注于检测影响较大的根源。
• 更严格地权衡已知的问题，轻松地投入到新问题的研究中。
• 生成各类检测工具集的多重样本和取样类型。
• 完成通常需要手工进行的自动取样。
• 以用户配置的XML文件存储简便易用的方案。
• 定义全局的或某个特定产品的取样和检测工艺。
• 定义多重取样规则，而且能够定义每个取样方案的过滤方案。
• 通过筛选功能和取样功能的组合使用，限定了被检测的缺陷。